??檢流計掃描儀是使用激光掃描的一種方法。利用電磁電動機帶動安裝于

旋轉軸上的光學元件（鏡子或透鏡）高速旋轉，伺服驅動器根據(jù)位置傳感器的輸出控制電動機高速、高精度地實現(xiàn)掃描功能。

通過使用兩個振鏡掃描儀（一個用于 X，一個用于 Y），可以在二維表面上進行激光掃描。還有 3D 振鏡掃描儀，通過添加 Z 向振鏡掃描儀，可以進行三維掃描。

振鏡掃描儀應用

它用于高速、高精度激光鉆孔，激光打標、焊接等工藝，以及使用流行的光固化樹脂的3D打印機的激光掃描。用于需要微米級精度的零件加工。它們

還用于光學相干斷層掃描（OCT），以可視化組織的微小內(nèi)部結構，利用其納米級可控性，對生物化學和生物工程中使用的分光光度計、共聚焦顯微鏡和激光顯微鏡中的旋轉色散元件進行高精度、高速、大范圍掃描。

振鏡掃描器的原理

振鏡掃描器具有掃描精度高、速度快、分辨率高、操作簡便、性價比高等特點。由于它即使在長期高速運行和溫度變化的情況下仍能保持較高的重復定位精度，因此被廣泛應用于激光掃描等場合。

鏡子尺寸（慣性）決定了檢流計掃描器的配置。由于選擇了適合慣性的掃描儀，如果將鏡子更換為重量或重心不同的鏡子，它可能無法正常工作。

在選擇振鏡掃描器時，不僅要考慮鏡面尺寸，還要考慮掃描方式（步進掃描、光柵掃描、矢量掃描）、所要求的速度和精度，根據(jù)用途選擇合適的振鏡掃描器。另外，旋轉范圍有限制（例如±30度），請注意。

根據(jù)所用激光的波長，鏡子可具有多種涂層。